EDI超纯水系统中的EDi纯化系统主要通过直流电场的作用，通过隔板中的水电介质离子，其作用是通过电介质离子通过吸附离子将其迁移淡水将通过阴离子和阳离子膜截留，从而让浓水不断的淡化提纯，从而得到超纯水。
在使用超纯水设备的时候需要采用预处理、反渗透技术、再通过电导率介质将其完全去除，并将水中的不离解胶体物质、气体等方面去除水中的大量离子。再将气体中的有机物均匀去除到一个很低的程度。将超纯水设备脱盐效果主要是经过反渗透系统。
EDI超纯水处理设备主要用于半导体行业、电子元件行业、医疗分析检测行业、制药行业以及各类实验室和工业的用水需求，完全满足实验室等领域的应用。
目前超纯水机已广泛应用于：电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、钢铁、玻璃清洗用水、半导体工业、精细化工、光学、医药用水、透析医疗用水。等领域。
超纯水系统的制水工艺如下：
1： 原水箱→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→软化系统→单级反渗透系统→edi系统→超纯水箱=电阻率≤5MΩ·cm
2： 原水箱→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→双级反渗透系统→edi系统→超纯水箱=电阻率≤10MΩ·cm
3：原水进入水箱，通过水泵进行石英砂、活性炭以及双级反渗透系统再通过反渗透处理最后进行edi系统和抛光混床就能得到符合要求的超纯水=水电阻率18.2MΩ·cm
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